一种氮极性面氮化镓共振隧穿二极管及其制作方法

一种氮极性面氮化镓共振隧穿二极管及其制作方法，主要解决现有氮极性面氮化镓共振隧穿二极管材料生长极性控制难度大、位错密度高，器件自热效应及微分负阻效应稳定性和重复性退化问题。其自下而上包括金刚石衬底、SiN过渡层、GaN支撑层、n+GaN集电极欧姆接触层、第一GaN隔离层、第一势垒层、GaN量子阱层、第二势垒层、第二GaN隔离层、n+GaN发射极欧姆接触层和发射极电极，第一GaN隔离层两侧设有环形集电极电极，第一GaN隔离层到发射极电极的外部包裹有钝化层。本发明器件材料质量高，器件可靠性和稳定性高，能改善器件自热效应并降低器件剥离转移工艺难度，可用于高频太赫兹辐射源和高速数字电路。

以上没写价格的,全套专利技术资料仅需260元至3980元,具体联系我们!

联系电话：0575-86879949 手机：13967599949 QQ:12234598 谢谢合作！有需要请直接打电话联系。每项专利技术资料均为国家正式专利全文说明书。含技术配方、加工工艺、权利要求书、说明书或附图等。说明：我们只是提供专利原文查询业务，不销售相关的产品、设备! 请谅解！

　

• ·胆红素生产工艺、胆酸提取合成方法技术配方专利大全
• ·辅酶Q的制备方法及应用技术配方专利大全
• ·凝血酶提取方法生产工艺及应用技术配方专利大全
• ·溶菌酶提取方法生产工艺配方专利技术大全
• ·生物膜技术专利、生物膜制备方法及应用配方
• ·蝎子的养殖方法及深加工工艺提取物生产技术配方专利大全
• ·蛇深加工方法及蛇提取物生产工艺配方专利技术大全
• ·蚕蛹蚕产品深加工方法及提取物蚕蛹粉生产工艺配方技术专利大全
• ·蚯蚓的养殖技术专利及深加工方法工艺配方大全
• ·蚂蚁养殖方法及深加工工艺配方技术专利大全
• ·马铃薯脱毒快繁技术 脱毒马铃薯生产方法 马铃薯脱毒种苗繁育方法
• ·花粉保健食品制备方法 花粉保健食品生产工艺技术配方
• ·减肥保健食品配方生产工艺技术 减肥保健食品制备方法
• ·营养盐生产方法 营养盐制作工艺配方 营养盐配制技术
• ·枣醋制作方法 枣醋加工技术 枣醋生产工艺配方
• ·银杏醋加工配方 银杏醋制备方法 银杏醋生产工艺技术
• ·糖醋蒜制作方法 糖醋蒜生产技术 糖醋蒜配方工艺
• ·红花醋配方 红花醋制作工艺 红花醋生产技术方法
• ·豆沙加工工艺方法 豆沙配方生产制造技术
• ·纳米酶材料的制备方法